歡迎來到合肥真萍電子科技有限公司官方網站! 網站首頁 | 聯系我們 | 關于我們
合肥真萍電子科技有限公司
真萍首頁 公司介紹 產品展示 公司資訊 行業新聞 聯系我們 企業招聘 合作伙伴 視頻展示
 
熱處理設備
烘烤制成設備
可靠性實驗設備
黃光區設備
防潮防氧化設備
濕法設備
 
 
 
產品知識  
HMDS預處理系統——高溫鐘罩爐

 一、HMDS 預處理系統的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是至關重要的一個工藝環節,而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質量。涂膠工藝中的一種叫Hexamethyldisilazane(HMDS)化學制劑,化學名稱叫六甲基二硅氮 甲烷,即HMDS。把它涂到硅片表面后,通過加溫可反應生成以硅氧烷為主題的起表面活性劑作用的化合物,它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起到耦合的作用。在顯影的過程中,增強了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側向刻蝕。但隨著光刻線條的越來越細,膠的越來越薄,對粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現在的HMDS專用烘箱。

 
HMDS涂膠系統
二、HMDS預處理系統的優點:
  2.1預處理性能更 好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更 好的處理效果等。
   2.2處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態涂布不可比擬更 好的均勻性。
   2.3效率高。液態涂布是單片操作,而本系統一次可以處理多達4盒的晶片。
   2.4更加節省藥液。實踐證明,用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用藥液還多;   
   2.5更加環保和安全,HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環境造成污染。
HMDS涂膠系統
三. 整機尺寸、真空腔體尺寸:      
  3.1 內膽尺寸:450*450*450mm;300*300*300mm;                                           610*610*650mm(W*D*H)
  3.2真空度:150Pa;采用真空泵 
  3.3 加熱方式:腔體下部及兩側加溫。加熱器為內置加熱板
  3.4 溫度:RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫精確可靠。      
  3.5 控溫精度:±2%℃(200℃內);
  3.6 可放LED芯片2寸片100片左右;
  3.7開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-90分鐘(按產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規降溫));
  3.8  整個系統采用優 質材料制造,無發塵材料,適用100 級光刻間凈化環境。鋼化、鋼化玻璃門觀察工作室內物體,一目了然。箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,確保產品經久耐用。

本文學由合肥真萍電子科技有限公司原創,轉載時請注明熱風排膠爐網址:http://www.dingcankong.com/
下一篇:解讀毫米波測試技術 返回列表 上一篇:如何選擇合適的氣氛爐小知識
 
真萍首頁 公司介紹
產品展示 公司資訊
聯系我們 企業招聘
合作伙伴 視頻展示

合肥真萍電子科技有限公司
地址:合肥市經濟技術開發區合肥市經濟技術開發區厚德路175號
聯系電話:400-608-2908 0551-63484895 021-52706360
郵箱:sales@tphte.com
網址:www.dingcankong.com 皖ICP備13003512號-1


官網二維碼

微信二維碼

微信二維碼


400 6082 908

国产在线高清亚洲精品二区_色爱A∨综合区_2019国自产拍精品_AV福利导福航